BRV 阀是手动或气动执行的前级/粗抽阀

BRV 阀是手动或气动执行的前级/粗抽阀。它是一个完整的 3 接口装置，集独立的前级/粗抽阀的功能于一身。具备多种控制和指示功能，是一种价格低廉、安全可靠、易于操作的阀。

SIPVP 阀是气动操作的软启动型阀，带有可更换的孔板，可为湍急气流会导致微粒污染问题的制程提供受控的制程抽气。

ISO 带法兰插板阀系列可采用多种材料和密封方式，提供极佳的整体密封性和真空完整性，同时具有最高的导电性。这种阀采用气动或手动执行方式，附带多种控制和指示功能。

CF 带法兰插板阀可采用多种材料和密封方式，提供极佳的整体密封性和真空完整性，同时具有最高的导电性。这种阀采用气动或手动执行方式，附带多种控制和指示功能，而且采用可加热式设计。

BGV 地下室插板阀经过针对性设计，采用简单、创新的楔形密封系统，消除了传统插板阀所使用的复杂机械装置。其优势包括在真空内不需要油、油脂和移动部件，因此降低了机械装置被制程中的粉尘污染的风险。

QSB 直角回转蝶阀是设计紧凑、反应迅速的高导电性隔离阀。采用不锈钢制造，带有 O 形密封圈，气动或手动执行。