日本ANEST IWATA无油涡旋式真空泵性能特点

日本ANEST IWATA无油涡旋式真空泵性能特点

产品品牌

日本ANEST IWATA

产品名称

无油涡旋式真空泵

性能特点

无油运行，不会造成对周围环境的污染；低噪音；免维护。

技术参数

流量范围：3-60m³/hr

极限真空：≤0.2mbar

应用范围

加速器；液晶注入、封止装置；PS版固持；He泄漏检波器；电子束加工装置